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濕式蝕刻過(guò)程的流程介紹

  濕式蝕刻過(guò)程可分為三個(gè)步驟:
 
蝕刻
 
  1)化學(xué)蝕刻液擴(kuò)散至待蝕刻材料之表面;
 
  2)蝕刻液與待蝕刻材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng);
 
  3)反應(yīng)后之產(chǎn)物從蝕刻材料之表面擴(kuò)散至溶液中,并隨溶液排出。

  三個(gè)步驟中進(jìn)行最慢者為速率控制步驟,也就是說(shuō)該步驟的反應(yīng)速率即為整個(gè)反應(yīng)之速率。
 
  大部份的蝕刻過(guò)程包含了一個(gè)或多個(gè)化學(xué)反應(yīng)步驟,各種形態(tài)的反應(yīng)都有可能發(fā)生,但常遇到的反應(yīng)是將待蝕刻層表面先予以氧化,再將此氧化層溶解,并隨溶液排出,如此反復(fù)進(jìn)行以達(dá)到蝕刻的效果。如蝕刻硅、鋁時(shí)即是利用此種化學(xué)反應(yīng)方式。

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景博精密五金——專(zhuān)業(yè)五金蝕刻加工廠家

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